氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級(jí)的氧氣和氮?dú)?、?jīng)過焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)氣體一般要求生產(chǎn)量大, 但對(duì)氣體的純度要求不高。特種氣體則是用途有別于一般氣體的氣體，是一個(gè)籠統(tǒng)的概念。它在純度、品種、性能等方面都是嚴(yán)格按照一定規(guī)格進(jìn)行生產(chǎn)和使用的。一般認(rèn)為, 它是由電子氣體、高純石油化工氣體、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體組成。

　　特種氣體應(yīng)用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)藥國(guó)防等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國(guó)特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以前所未有的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場(chǎng)的需求,現(xiàn)如今我國(guó)特種氣體從原來的完全依賴進(jìn)口轉(zhuǎn)向基本自給自足。盡管如此, 受諸多方面的影響, 我國(guó)特種氣體無論在標(biāo)準(zhǔn)上、質(zhì)量上、生產(chǎn)規(guī)模化上, 甚至生產(chǎn)成本上, 同發(fā)達(dá)國(guó)家同行業(yè)相比, 仍存在一定的差距。

　　2 中國(guó)特種氣體的發(fā)展現(xiàn)狀

　　2.1 電子氣體[1]

　　在微電子、光電子器件生產(chǎn)過程中, 從芯片的生長(zhǎng)到最后器件的封裝, 幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子氣體, 因此, 電子氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。半導(dǎo)體器件性能的好壞,在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量, 電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí), 都會(huì)極大地推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍, 正因如此, 發(fā)達(dá)國(guó)家都在積極發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體, 并且取得了明顯的效果, 由于電子氣體質(zhì)量決定著IC技術(shù)的發(fā)展, 而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍工領(lǐng)域, 且發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁, 它影響到國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防的許多方面, 因此, 有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國(guó)際上多屬高度保密的技術(shù)。

　　同光電子、微電子工業(yè)一樣, 我國(guó)電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚, 資金投入量也顯得相對(duì)不足。改革開放以來, 中國(guó)政府已將IC產(chǎn)業(yè)列為國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè), 因此, 電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。為滿足家用電子、汽車電子巨大的市場(chǎng)需求, 中國(guó)在原電子部的幾條IC生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上, 又相繼開發(fā)和引進(jìn)幾十條相對(duì)比較先進(jìn)的IC生產(chǎn)線, 近年來又有大批民營(yíng)資金相繼投入IC業(yè), 這極大地推動(dòng)了中國(guó)超大規(guī)模集成電路(VLSI)制造技術(shù)的不斷進(jìn)步。隨著IC產(chǎn)業(yè)國(guó)際化競(jìng)爭(zhēng)日益加劇, 中國(guó)完全依賴進(jìn)口電子氣體生產(chǎn)IC的現(xiàn)狀正面臨著嚴(yán)峻的市場(chǎng)考驗(yàn)。此外, 電子氣體多為易燃、易爆、劇毒化學(xué)品, 在國(guó)際上屬于控制范疇, 進(jìn)口相對(duì)麻煩, 運(yùn)輸周期較長(zhǎng), 這嚴(yán)重制約著國(guó)內(nèi)光電子、微電子產(chǎn)業(yè)的健康穩(wěn)定發(fā)展, 因此, 中國(guó)的IC制造商一直渴望國(guó)內(nèi)開展電子氣體的研究與生產(chǎn), 以解決IC生產(chǎn)的“源”的問題, 從根本上解除IC制造業(yè)的后顧之憂, 打通兆位級(jí)集成電路和VLSI級(jí)集成電路發(fā)展的“瓶頸”問題。

　　我國(guó)電子氣體的發(fā)展從整體上看, 相對(duì)落后于國(guó)外同行水平。電子氣體其特點(diǎn)是“超純”、“超凈”、“超前”, 由于它應(yīng)用于IC工藝的各個(gè)環(huán)節(jié),有的用量非常小, 但又不能缺少, 同時(shí)其本身又多為易燃、易爆、有毒物質(zhì), 需要從業(yè)人員有極高的業(yè)務(wù)能力, 又需要非常大的資金投入, 因此, 單靠國(guó)內(nèi)某一單位或某一部門孤立開展電子氣的研制與生產(chǎn)在目前的經(jīng)濟(jì)環(huán)境中是不可想象的。電子氣在IC產(chǎn)業(yè)中的重要性, 以及我國(guó)尖端技術(shù)的牽制作用, 已經(jīng)引起中國(guó)高層主管部門的高度重視, 因此, 從國(guó)家“十五”“863”等多個(gè)資金渠道, 已開始對(duì)國(guó)產(chǎn)電子氣體的研究及產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)提供了資金扶持, 所以筆者認(rèn)為隨著我國(guó)IC產(chǎn)業(yè)向縱深方向發(fā)展, 我國(guó)民營(yíng)企業(yè)逐漸做大、做強(qiáng), 在未來幾年中中國(guó)電子氣發(fā)展徘徊的局面將會(huì)打破, 受IC 產(chǎn)業(yè)的極大牽動(dòng), 一大批技術(shù)比較成熟的電子氣體如NH3、N2O、Cl2、BF3、SF6 ，甚至PH3、B2H6等電子氣品種, 將采用國(guó)內(nèi)外先進(jìn)的設(shè)備、儀控配套進(jìn)行批量化、產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展, 此外, 國(guó)際電子氣制造廠也將盯住我國(guó)IC產(chǎn)業(yè)的巨大市場(chǎng), 屆時(shí)競(jìng)爭(zhēng)將加劇, 由于IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度日新月異, 電子氣無疑要“糧草未動(dòng)、兵馬先行”, 為適應(yīng)電子氣體發(fā)展的急需, 中國(guó)各專業(yè)研究院所、大專院校, 也將在電子氣的研發(fā)上有所突破, 在落后的一些氣體品種上進(jìn)行實(shí)用化研究, 以期在合成、純化等方面有所創(chuàng)新, 最終實(shí)現(xiàn)中國(guó)電子氣體產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的目標(biāo)?？傊? 中國(guó)電子氣體經(jīng)過三十余年的發(fā)展, 盡管在“九五”期間國(guó)家在此方面沒有投入, 但中國(guó)電子氣在某些品種已在市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)中占有一定的優(yōu)勢(shì), 這對(duì)平衡國(guó)際電子氣體在中國(guó)的價(jià)格起了重要作用, 隨著中國(guó)IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展, 中國(guó)電子氣體將有所突破, 市場(chǎng)占有率也必將不斷提高。